Fa'a'ofu'ofu keramika ua ufiufi i le Teflon – Luga e lē pipii mo le taulimaina o le Wafer ma'ale'ale

O le mea e fa'aaogaina ai le pito i tua o le seramika ua ufiufi i le Teflon (PTFE) a St.Cera e tu'ufa'atasia ai se mea e malosi tele ai le alumina ma se mea e tutusa lelei ma e maualalo le fe'avea'i o le PTFE (mafiafia 15–30 μm). O le mea e fa'aaogaina ai e maua ai se fua fa'atatau maualalo tele o le fe'avea'i (≤0.1), tete'e lelei tele i vaila'au, ma uiga e le pipii, e puipuia ai le pipii o le wafer ma fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o le itu i tua. O le mea e fa'aaogaina ai le seramika o lo'o i lalo (99.8% Al₂O₃) e ofoina atu le malosi maualuga o le fe'avea'i (361–1000 MPa), tete'e i le ofuina, ma le mautu i le vevela e o'o atu i le 260°C (tapula'a o le ufiufi). O lenei mea e fa'aaogaina ai le pito e sili ona lelei mo le taulimaina o wafers maaleale, manifinifi, po'o le pipii (e pei o le mae'a ai o le ufiufi photoresist po'o ni faiga fa'akemikolo).

Fa'amatalaga auiliili (e faʻavae i luga o le 99.8% Al₂O₃ substrate ma le PTFE coating):

Manatua: E fa'atapula'aina e le ufiufi PTFE le vevela maualuga i le 260°C; mo fa'aoga i le vevela maualuga atu, mafaufau i le seramika e le'i ufiufiina po'o isi ufiufi.

Talosaga:

• · Taulimaina o apameme pe a uma ona ufiufi i le photoresist (mea e pipii)
• · Fesiitaiga o apa manifinifi pe maaleale (e taofia ai le pipii)
• · Meafaigaluega mo le siakiina o le semiconductor ma le fuaina o fua
• · Fa'aogaina otometi o le potu mama lea e tatau ai ona fa'aitiitia le fa'aleagaina o vaega laiti

Faiga o le Gaosiga:

O le mea fa'apipi'i seramika ua fa'amamago ma oloina sa'o → fa'amamago o le fogaeleele (plasma etch po'o le grit blast) → PTFE spray coating → fa'ama'a'aina i le vevela i le 380°C → asiasiga mulimuli. O pito ta'itasi e siaki mo le mafiafia o le ufiufi (eddy current), le pipii (su'ega tipi fa'alava ASTM D3359), ma le coefficient of friction.

Puleaina o le Tulaga Lelei:

Siakiina vaaia 100% mo ni pu laiti po'o ni pupuni; tutusa le mafiafia o le ufiufi i totonu ole ±5 μm; leai se fa'aesea pe a uma le suega pi'o 90° i luga o le kuponi molimau. Siaki fua e tusa ai ma le OEM tolerance (umi ±0.05 mm, lamolemole ≤0.1 mm).

Lelei nai lo Ufi e le'i Ufiufiina pe Isi Ufiufi:

• · O le fogā'ele'ele e lē pipii e puipuia ai le pipii ma le gau o le apa
• · O le fua fa'atatau maualalo o le fete'ena'iga i le va o ufiufi seramika
• · Tete'e lelei i vaila'au fa'akemikolo ('asita, fa'avae, vaila'au fa'amama)
• · Fa'aitiitia le gaosiga o vaega laiti e ala i le taofia o le fesiitaiga o meafaitino

Tapula'a (fa'amatalaga i le eseesega taua):

E lē maua le ufiufi PTFE mai laulau o meatotino o meafaitino ua tuʻuina atu (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). O meatotino o le substrate e mulimulitaʻi ma le faʻaeteete i le pepa faʻamatalaga ua tuʻuina atu (99.8% Al₂O₃). O meatotino ufiufi e faʻavae i luga o faʻamatalaga PTFE faʻatulagaina a le alamanuia, aua e leai ni faʻamatalaga ufiufi na tuʻuina atu. Mo faʻaoga e sili atu i le 260°C, e fautuaina se pito seramika e leʻi ufiufiina.*

Fa'apitoa:

E maua i le umi e 150–1500 mm, foliga o pito (u'u pito, Bernoulli, mafolafola), mamanu o le fa'apipi'iina o le flange e tusa ai ma le ata o le OEM. E mafai ona ufiufi fa'aitiiti (na'o vaega e pa'i i ai) pe ufiufi atoa.

Talosaga mo se faʻataʻitaʻiga mo le faʻataʻitaʻiga o le pipii ma le feteʻenaʻiga.