Mama Seramika Alumina Mama Maualuga mo Potu Fa'agasologa CVD / PVD

O le mama seramika a St.Cera ua mamanuina faapitoa mo le faʻaaogaina i totonu o potu faʻagasologa o le CVD (Chemical Vapor Deposition) ma le PVD (Physical Vapor Deposition). O lenei mama e gaosia mai le 99.8% alumina mama maualuga (Al₂O₃), o se laina o le potu, mama taulaʻi, poʻo se vaega o le pusa faʻagasologa e faʻatapulaʻa ai le plasma ma puipuia puipui o potu mai le soloia. O lenei mea e ofoina atu le teteʻe lelei tele i le plasma, malosi maualuga o le dielectric (15 × 10⁶ V/m), ma le mautu o le vevela e oʻo atu i le 1600°C, ma faʻamautinoa ai le umi o le ola tautua i totonu o siosiomaga plasma e faʻavae i le fluorine. O le saʻo o le faʻatagaina o le tele (± 0.05 mm i le ID/OD) ma le lamolemole (≤ 10 μm) e mafai ai ona tutusa le tulaga o le pito o le wafer, faʻaleleia atili le tutusa o le faʻaputuga ma faʻaitiitia ai le gaosiga o vaega.

Fa'amatalaga (e fa'avae i le 99.8% Al₂O₃):

Talosaga:

• · Mama taula'i o le potu CVD ma mama pito
• · Mama talita o le potu PVD ma mama fa'amau
• · Fa'apipi'i le pito i totonu o le potu eli ma mama ufiufi
• · Mama fa'amauina o le plasma i totonu o faiga fa'a'ese'ese dielectric

Faiga o le Gaosiga:

Oomiina Isostatic → masini lanumeamata → sintering i le 1600°C → oloina CNC ID/OD → lapping luga → fa'amamāina ultrasonic → 100% asiasiga CMM. O le fa'auma o luga e matua lamolemole lava (Ra ≤0.4 μm) e fa'aitiitia ai le pipii o fasi mea.

Puleaina o le Tulaga Lelei:

• · Siaki 100% o le fua (ID, OD, mafiafia, lamolemole)
• · Su'esu'ega o le vali e fa'a'ofu ai ni māvaevae laiti i luga
• · Su'ega malosi dielectric e tusa ai ma le ASTM D149
• · Leai se suiga o le lanu po'o le porosity e va'aia i lalo o le microscope 20×

Lelei nai lo mama u'amea po'o mama kuata:

• · 5–10× umi atu le ola nai lo mama alumini i le plasma fluorine
• · Leai se fa'aleagaina o u'amea i ata manifinifi
• · Tete'e maualuga atu i le plasma nai lo le kuata (leai ni lua e soloia)
• · Tausia le puipuiga eletise >10¹⁴ Ω·cm tusa lava pe umi se taimi e faʻaaogaina ai

Mea Fa'aopoopo — Silicon Nitride (Si₃N₄):

Mo fa'aoga e mana'omia ai le malosi tele o le gau (6.2 MPa·m¹/²) ma le tete'e atu i le te'i vevela (expansion coefficient 3.2×10⁻⁶/℃), e maua mama Si₃N₄. Peita'i, e sili atu le taugofie o le alumina mo le tele o fa'aoga CVD/PVD. Fa'amolemole fa'ailoa mai le mea e te mana'o ai pe a e faia sau fa'atonuga.

Fa'apitoa:

• · Pu i totonu, fa'asologa fa'asitepu, po'o pu fa'asaga mo le fa'apipi'iina
• · O le fogāeleele ua ufiufi i le Y₂O₃ mo le faʻaleleia atili o le teteʻe atu i le plasma (filifiliga)
• · Vāega leisa o le numera o le vaega / numera o le lota

Fa'amatalaga:O faʻamatalaga o loʻo i luga e mulimulitaʻi tonu lava i le laulau o meatotino Al₂O₃ ua tuʻuina atu. Mo mama Si₃N₄, tagaʻi i le pepa faʻamatalaga eseese o le Si₃N₄ ua tuʻuina atu.