Pine Lagolago Seramika mo Fa'apipi'iga Fa'agasologa Semiconductor
O pine lagolago seramika a St.Cera (e ta'ua fo'i o pine si'i po'o pine lagolago) e fa'aaogaina i totonu o potu fa'agasologa semiconductor e si'i ai ni wafers po'o ni substrates i le taimi o le taulimaina, fa'avevela, po'o le fa'amālūlūina. O nei pine e gaosia mai le 99.8% alumina po'o le silicon nitride, e ofoina atu le malosi maualuga o le compressive, mautu i le vevela, ma tete'e atu i vaila'au. O le mamanu o le hemispherical po'o le flat tip e puipuia ai le valuina o le wafer.
Fa'amatalaga auiliili(Alumina 99.8%):
| Meatotino | Taua |
| Meafaitino | 99.8% Al₂O₃ po'o le Si₃N₄ |
| Umi | 10 – 100 mm |
| Lapoa | 1 – 10 milimita |
| Foliga o le Pito i Luga | Mafolafola, afa-pito, ma'ai |
| Malosiaga Fa'apipi'i (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Vevela Maualuga o le Fa'agaioiga (Al₂O₃) | 1600°C |
| Fa'auma o le Laupapa | Fa'a'ofuofu (Ra ≤0.4 μm) |
| Fa'apalepale i le Diameter | ±0.01 mm |
Talosaga:
Si'i pine i totonu o potu CVD/PVD
Pine lagolago mo le taoina o mea'ai i luga o le ogaumu
Fausaga lagolago o le kata su'esu'e
Lagolago va'a ogaumu kuata
Gaosiga:
O le oloina sa'o e aunoa ma le ogatotonu o le OD → oloina taimane o le pito i luga → fa'amamāina fa'a-ultrasonic → asiasiga 100% o le fua.
Puleaina o le Tulaga Lelei:
CMM mo le umi/lautele, fa'atusatusaga opitika mo le radius o le pito, su'ega o le avega e fa'amaonia ai le malosi o le fa'apipi'iina (fa'ata'ita'iga fa'afuase'i i le lot). Leai se fa'aleagaina o le ferromagnetic (fa'amaonia i le magnet).
Lelei nai lo pine u'amea po'o pine kuata:
5x le umi o le ola nai lo le u'amea e le gaoia
Leai se fa'aleagaina o u'amea i totonu o le potu fa'agasologa
Malosiaga maualuga atu i le vevela nai lo le kuata (1600°C vs 1100°C)
Luga e le pipii (fa'aitiitia le pipii o vaega)
Fa'apitoa:
E tele fa'asologa o pito, fa'avae filo, po'o le 'au e fa'alava.
Matou te tuʻuina atu foʻi pine SiC mo siosiomaga plasma ogaoga.
