Vaega Seramika Alumina Saogalemu ESD mo le Taulimaina o le Wafer e Ma'ale'ale i le Static

O vaega o le seramika alumina saogalemu ESD (electrostatic discharge) a St.Cera e gaosia mai le 99.8% Al₂O₃ mama maualuga ma le tete'e fa'apitoa o le 10⁶–10⁹ Ω/sq, e ausia e ala i se faiga fa'apitoa o le doping po'o le ufiufi. O nei vaega e fa'aitiitia lelei le mamafa tumau, e puipuia ai le fa'aleagaina o le eletise i wafers ma masini semiconductor maaleale. O le mea autu e taofia lona malosi maualuga o le flexural (361 MPa), le ma'a'a (16 GPa), ma le malosi dielectric (15×10⁶ V/m). O vaega seramika saogalemu ESD e aofia ai e aofia ai end effectors, lift pins, guide rails, ma mea fa'apipi'i fa'apitoa mo le FAB automation.

Fa'amatalaga auiliili(e fa'avae i luga o le 99.8% Al₂O₃ fa'atasi ai ma togafitiga ESD):

Manatua: E le o tu'uina atu le tete'e o le ESD i luga i laulau o meatotino o meafaitino ua tu'uina atu. O le laina o lo'o i luga o le tulaga fa'atulagaina lea o le alamanuia mo keramika fa'ata'ape'ape. Fa'amolemole fa'afeso'ota'i matou mo lipoti o su'ega.

Talosaga:

● O mea e fa'aosofia ai le pito e saogalemu mo le ESD mo le fesiitaiga o le wafer

● Pine fa'a'ele'ele ma mea fa'apipi'i ESD i masini FAB

● Su'ega o soketi mo masini e maaleale i le eletise

● Meafaigaluega mama e taua tele ai le pulea o le eletise

Gaosiga ma le Tulaga Lelei:

Fa'agasologa masani o le alumina + togafitiga o luga ESD → tete'e o luga e fuaina e tusa ai ma le ANSI/ESD STM11.11. O vaega ta'itasi e 100% fa'ata'ita'iina i se eletise mama fa'aputu.

Fa'amanuiaga:

● Puipuia le leiloa o le fua e fesoʻotaʻi ma le ESD

● Fa'atumauina le malosi fa'amekanika o le seramika ma le tete'e atu i vaila'au

● Leai se fa'atupuina o ni vaega mai le fa'a'esea tumau