Mama Fa'amaufa'ailoga Seramika Alumina Mama Maualuga mo le Fa'amaufa'ailogaina o le Potu Vevela Maualuga

O le mama fa'amaufa'ailoga seramika a St.Cera ua mamanuina e fai ma sui o mama polymer O i siosiomaga ogaoga e fa'aleagaina ai elastomers. O lenei mama fa'amaufa'ailoga ma'a'a e gaosia mai le 99.8% alumina mama maualuga (Al₂O₃), e fa'aaogaina i galuega fa'amaufa'ailoga tumau - e masani ona fa'apipi'i fa'atasi ma se u'amea vaivai po'o se gasket graphite - e maua ai le fa'atuatuaina o le vacuum po'o le kesi i le vevela e o'o atu i le 800°C ma i siosiomaga plasma po'o vaila'au malolosi. O le meafaitino e leai se gassing, malosi maualuga (malosi fa'apipi'i autu 361 MPa), ma le le gaoioi o vaila'au (tete'e atu i halogens, acids, ma alkalis vagana ai HF). O luga fa'amaufa'ailoga ua fa'apipi'i sa'o (flatness ≤5 μm, roughness o le luga Ra ≤0.2 μm) e fa'amautinoa ai le fa'afeso'ota'i lelei ma vaega u'amea po'o seramika.

Fa'amatalaga auiliili(e fa'avae i le 99.8% Al₂O₃):

Talosaga:

• · Fa'amaufa'ailoga tumau o le potu fa'agasologa semiconductor (CVD, PVD, etch)
• · Fa'amaufa'ailoga faitoto'a o le ogaumu vevela maualuga
• · Fulu fa'asusu e fa'amama ai le tino
• · Tapunia o le va'a o le reactor kemikolo

Faiga o le Gaosiga:

Oomi fa'a-isostatic → sintering i le 1600°C → fa'apipi'iina sa'o o itu e lua e maua ai ni foliga fa'amaufa'ailoga lamolemole ma lamolemole → fa'amama o pito → fa'amamāina i le ultrasonic. O mama ta'itasi e 100% su'eina pe mafai ona tafe le vai i luga o se masini e iloa ai le tafe o le vai i le helium ma se gasket u'amea masani.

Puleaina o le Tulaga Lelei:

• · Siakiina o fua fa'atatau o le CMM (ID, OD, mafiafia, tutusa)
• · Lomitusi o le fogāeleele mo le Ra ma le gaugau
• · Fuaina o le lamolemole e faʻaaogaina ai le lamolemole faʻapitoa
• · Su'ega o le tafe o le helium (metotia o le toe fa'afo'isia o le mamafa)

Tulaga lelei nai lo mama-O Polymer:

• · Talitonu 800°C vs. <300°C mo FFKM
• · Leai se kasa e alu ese ai — leai se faʻaleagaina o le siosiomaga e leai se masini e faʻaaogaina ai le vacuum cleaner
• · Tetee i vailaʻau uma o le plasma (fluorine, chlorine, oxygen)
• · Leai se seti o le fa'apipi'iina po'o se fa'aletonu tumau
• · O le umi e le fa'atapula'aina i siosiomaga mamā

Tapulaʻa (Faʻamatalaga Taua):

• · E le o se O-ring— o se mama seramika malo e manaʻomia se gasket vaivai (apamemea, alumini, poʻo le karapite) e faʻamaufaʻailoga ai.
• · E lē fetaui ma le gaioiga fa'asolosolo po'o le sese tele o le fa'atulagaina o le flange.
• · Tau maualuga atu i le amataga nai lo mama-O polymer, ae o le umi o le olaga e faʻaitiitia ai le tau o le umiaina.
• · Ma'ale'ale — ia taulimaina ma le fa'aeteete; 'alo'ese mai le pa'ū i le mea e tasi po'o le mamafa o le punou.

Fa'amatalaga:O faʻamatalaga o loʻo i luga e mulimulitaʻi tonu lava i le laulau o meatotino Al₂O₃ ua tuʻuina atu. E leai ni faʻamatalaga mo mea elastomeric na tuʻuina atu. O lenei oloa o se mama faʻamaufaʻailoga tumau, ae le o se mama-O elastomeric. Faʻamolemole faʻamaonia pe fetaui lenei mea ma manaʻoga o lau talosaga.