Mama Fa'atatau o le Potu Alumina Mama Maualuga mo Faiga Plasma Etch ma CVD

O le mama fa'atatau o le potu a St.Cera o se vaega taua o le seti o mea e fa'aaogaina i masini e fa'aaoga ai le plasma etch, CVD, ma le PVD semiconductor. E gaosia mai le 99.8% alumina mama maualuga (Al₂O₃), o le mama e si'omia ai le pito o le wafer e fa'atapula'a ai le plasma ma fa'aleleia atili ai le tufatufaina atu o le ion angular, ma fa'aleleia atili ai le tutusa o le etch i luga o le fogā'ele'ele o le wafer. O lenei mea e ofoina atu le tete'e ese mai le plasma, malosi maualuga o le dielectric (15 × 10⁶ V/m), ma le mautu o le vevela e o'o atu i le 1600°C, ma fa'amautinoa ai le fa'atuatuaina mo se taimi umi i siosiomaga plasma e fa'avae i le fluorine po'o le chlorine. O le ID/OD ma le lamolemole o le eleele (≤10 μm) e mafai ai ona tu'u sa'o le pito o le wafer, fa'aitiitia ai fa'aletonu o pito ma le gaosia o vaega laiti.

Fa'amatalaga auiliili(e fa'avae i le 99.8% Al₂O₃):

Talosaga:

• · Mama taula'i o le potu etch dielectric (oxide, nitride etch)
• · Mama pito o le potu e fai ai le silicon etch
• · Mama o le pusa fa'agasologa o le potu CVD
• · Talita ma mama fa'amau o le potu PVD

Faiga o le Gaosiga:

O le pauta alumina mama maualuga e oomi fa'a-isostatic → fa'amasini lanumeamata i se foliga e toetoe lava a mama → fa'ama'alili i le 1600°C → oloina taimane CNC o le ID, OD, ma le mafiafia → fa'apalapala e ausia ai le lamolemole ≤10 μm → fa'amamāina ultrasonic → 100% su'esu'ega CMM. O le fa'auma o le luga Ra ≤0.4 μm e fa'aitiitia ai le pipii o vaega.

Puleaina o le Tulaga Lelei:

• · Su'esu'ega 100% o fua fa'atatau (ID, OD, mafiafia, fa'atusatusaga)
• · Su'ega e fa'a'ofu ai le vali mo ni māvaevae laiti (e le fa'atagaina ni māvaevae)
• · Su'esu'ega vaaia i lalo o le 20× microscope — leai ni malepelepe, gaogao, po'o ni lanu e le toe suia
• · Su'ega malosi dielectric e tusa ai ma le ASTM D149 (fa'ata'ita'iga)

Tulaga lelei pe a fa'atusatusa i mama fa'apitoa e pei o le Silicon po'o le Quartz:

• · 5–10× umi atu le ola i le plasma fluorocarbon
• · Leai ni fasi otaota e fa'aleagaina ai apa'au
• · O le malosi maualuga o le dielectric e taofia ai le arcing
• · Tausia le lamolemole ma le sa'o o le fua i le faitau afe o itula RF

Meafaitino Eseese — Yttria-Stabilized Zirconia (ZrO₂):

Mo fa'aoga e mana'omia ai le malosi tele o le gau (e pei o potu e masani ona fa'avevela pe te'i fa'amekanika), o mama fa'atatau ZrO₂ (density 6.03 g/cm³, malosi fa'apipi'i 1000 MPa, malosi gau 5–8 MPa·m¹/²) e maua. Peita'i, e sili atu le taugofie o le alumina ma o le tulaga fa'atulagaina lea mo le tele o fa'aoga mama fa'atatau.

Fa'apitoa:

• · Fa'asologa o la'asaga, pu fa'asaga, po'o pu fa'apipi'i mo le ata o tagata fa'atau
• · Ufiufi Y₂O₃ mo le faʻaleleia atili o le teteʻe atu i le soloia o le plasma (mafiafia 20–100 μm)
• · Fa'ailogaina o le numera o le vaega, fa'ailoga o le aso, po'o fa'ailoga o le fa'atulagaina i le laser

Fa'amatalaga:O faʻamaumauga uma e mulimulitaʻi ma le faʻaeteete i le laulau o meatotino Al₂O₃ ua tuʻuina atu. Mo faʻamatalaga o le ZrO₂, tagaʻi i le pepa faʻamatalaga o le zirconia ua tuʻuina atu. Atonu e manaʻomia e mamanu o mama taulaʻi le faʻamaoniga o le pateni — e nafa tagata faʻatau ma le faʻamaonia o aia tatau tau meatotino tau le atamai.