U'amea-Fa'alagolago Porous SiC Vacuum Chuck mo le taulimaina o le Wafer Pi'o ma Manifi

O le masini fa'amama u'amea a St.Cera e tu'ufa'atasia ai se vaega seramika porous silicon carbide (SiC) ma se fa'avae u'amea ua mae'a ona fa'a'a'eina (alumini po'o le u'amea e le gaoia). O le mea porous SiC (lanumoana-uliuli, porosity 35–40%, pore size 20–30 μm, permeability 60 ml/cm²·min) e maua ai le tufatufaina tutusa ma le mālū o le vacuum i luga o le fogā'ele'ele atoa o le wafer, e ave'ese ai le fa'ailoga o pito ma mafai ai ona lagolagoina le le feso'ota'i mo wafers manifinifi (≤100 μm) po'o le pi'o. O le vaega SiC e ofoina atu le fa'alauteleina maualalo o le vevela (3.5×10⁻⁶/℃), mautu le vevela e o'o atu i le 1000°C, ma le malosi feololo o le flexural (32–35 MPa). O le fa'avae u'amea e fa'aopoopoina ai le malosi o le fausaga, faigofie ona fa'apipi'i e ala i pu filo, ma le puipuiga mai le gau o le gau. O lenei chuck e fetaui lelei mo le oloina o le itu i tua, tipiina o fasi, ma le fa'agasologa o le wafer i le vevela maualuga lea e taua tele ai le tutusa o le vacuum ma le fetaui lelei o le vevela.

Fa'amatalaga (e fa'avae i luga o fa'amatalaga porous SiC ua tu'uina mai):

Manatua: O le malosi o le flexural e maualalo ifo nai lo le SiC mafiafia ona o le porosity. O meatotino faavae u'amea e le mai laulau seramika.

Talosaga:

• · O le oloina o le pito i tua o apa manifinifi (≤100 μm)
• · Fa'apipi'i uamea pi'o mo le tipiina
• · Fa'apalapala o le uamea i le vevela maualuga (e o'o atu i le 1000°C)
• · Mea e fa'apipi'i ai le masini mitiia mo mea e manifinifi pe vaivai

Gaosiga:

Ipu SiC porous (faia i mea e fa'atupu ai pu, sintered) → fa'apipi'i se'ia mafolafola ≤10 μm → fa'avae u'amea ua masiniina i pu e leai ni masini e fa'apipi'i ai ma foliga fa'apipi'i → fa'apipi'i epoxy po'o le fa'amau fa'amekanika → su'ega o le tafe o le helium.

Puleaina o le Tulaga Lelei:

• · Ua fa'amaonia le porosity ma le tele o pu e ala i le SEM
• · Su'ega o le tafe o le ea
• · Fuaina o le lamolemole i le laser interferometer
• · Fuainumera o le tafe o le helium <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

Lelei pe a fa'atusatusa i Grooved po'o Dense Ceramic Chucks:

• · Leai se fa'ailoga o le wafer – e tutusa le masini e leai ni pu e iloa atu ai
• · Pu e fa'amamāina e ia lava – fa'aitiitia ai le poloka
• · E taulimaina ni apa ua pi'o (e o'o atu i le 500 μm le lautele)
• · O le faavae u'amea e puipuia ai le gau ma faigofie ai ona tu'ufa'atasia

Tapula'a:

• · Malosiaga fa'apipi'i maualalo (32–35 MPa) – 'alo'ese mai le mamafa o le pa'i
• · E fa'atapula'aina le vevela o le fa'agaioiga i le 1000°C (porous SiC), ae o le fusifusia o le epoxy fa'avae u'amea e fa'atapula'aina i le ≤200°C se'i vagana ua fa'amau fa'amekanika
• · E le mo le vacuum maualuga le mamafa (o le fausaga pu e faʻatapulaʻaina ai le eseesega maualuga o le vacuum)

Fa'apitoa:

• · Fa'avae u'amea: alumini (mama), u'amea e le pala (tete'e i le 'ele), Invar (fa'alauteleina maualalo)
• · Fa'apipi'i: epoxy (≤200°C) po'o le fa'amau fa'amekanika (e o'o atu i le 500°C)
• · Mama fa'amaufa'ailoga pito mo le puleaina o le masini e fa'amama ai le sone

Faamolemole ia matau: O le malosi o le flexural strength (32–35 MPa) e matua maualalo lava nai lo omea mafiafia ona o le porosity. Ia taulimaina ma le faaeteete ina ia aua ne'i gau le pito.