Fa'ai'uga o le I'uga o le Alumina Ceramic Mama Maualuga mo Robots e Taulimaina ai Wafer

O le masini fa'atino seramika alumina a St.Cera ua fa'a'ele'eleina ma le sa'o mai le 99.8% Al₂O₃ mama maualuga e fa'aaoga ai masini olo CNC 5-axis fa'aonaponei. O a matou gafatia gaosiga e aofia ai masini olo sa'o ma nofoaga fa'a'ele'ele CNC, e mafai ai ona faia ni foliga faigata ma le sa'o maualuga. O le masini fa'atino e iai se foliga manifinifi (e pei o le manifinifi o le 1.5 mm) fa'atasi ai ma se pito i luma e fa'ata'amilomilo mo le fa'aofiina o le wafer lamolemole. O le meafaitino e maua ai le malosi maualuga (Young's modulus 380 GPa), tete'e lelei i le ofuina, ma le mautu i le vevela e o'o atu i le 800°C. O iunite ta'itasi e oloina ma le sa'o ina ia maua ai le lamolemole o le 0.003mm, tutusa o le 0.002mm, ma le fa'auma o le luga o le Ra0.1, e fa'amautinoa ai le feso'ota'iga tutusa o le wafer ma le fa'agaioiga e aunoa ma ni vaega i siosiomaga semiconductor FAB. E maua i umi mai le 150 mm i le 450 mm, fa'atasi ai ma foliga fa'apitoa o pito (u'u pito, Bernoulli, lamolemole) ma flanges fa'apipi'i e fetaui ma robots OEM. O filifiliga mo le fa'auma o luga e aofia ai le lapped, polished, po'o le ESD dissipative coating (10⁶–10⁹ Ω/sq).

Fa'amatalaga (e fa'avae i le 99.8% Al₂O₃& gafatia gaosiga a St.Cera):

Talosaga:

• · Fesiitaiga o le Wafer i totonu o le vacuum ma robots ea
• · Fa'a'au'au fa'aautomatika a le FAB mo wafers 200mm/300mm
• · Taulimaina o le manifinifi o le wafer (faatasi ai ma le filifiliga ESD)

Tomai Fa'atino:
O a matou masini olo sa'o ma nofoaga autu mo masini CNC e mafai ai ona gaosia ni vaega seramika faigata ma:

• · Umi maualuga o le masini: 1500mm
• · Lapo'a pito i fafo: 600mm
• · Lapo'a maualalo i totonu: 0.2mm
• · Mafiafiaga maualuga: 100mm

Puleaina o le Tulaga Lelei:
Sa'o 0.005mm, fa'atulagaina tutusa 0.005mm, lapotopoto 0.002mm, fa'atusatusa 0.002mm, fa'atusatusa 0.01mm ua fa'amaonia e le CMM. O iunite ta'itasi e fa'amamāina i le ultrasonic ma afifiina i totonu o le potu mama Vasega 100.