Alumina Vacuum Chuck mo le tipiina ma le oloina sa'o
O le masini olo mama alumina a St.Cera e gaosia mai le 99.8% Al₂O₃ mama maualuga ma alavai masini olo sa'o. O lo matou gafatia olo sa'o e ausia ai le lamolemole o le 0.003mm ma le tutusa o le 0.002mm, ma fa'amautinoa ai le fa'amautuina o le wafer e aunoa ma le fa'api'o i le taimi o le tipiina, olo i tua, ma le siakiina. O le meafaitino e ofoina atu le malosi maualuga o le flexural (361 MPa), ma'a'a (16 GPa), ma le mautu o le vevela e o'o atu i le 800°C. E maua i foliga lapotopoto e o'o atu i le 600mm le lautele i fafo (OD) ma foliga fa'atafafā e o'o atu i le 1500mm le umi. O alavai olo ua mamanuina fa'apitoa (concentric, radial, po'o grid patterns) e fetaui ma mana'oga fa'apitoa o le faiga. O masini olo ta'itasi e siakiina i le laser interferometer ma tu'uina atu fa'atasi ma se lipoti fa'amaonia o le lamolemole.
Fa'amatalaga (e fa'avae i le 99.8% Al₂O₃& gafatia gaosiga a St.Cera):
| Meatotino | Taua |
| Meafaitino | 99.8% Alumina (Aivi) |
| Mafiafia | 3.93 kalama/cm³ |
| Malosiaga Fa'alava | 361 MPa |
| Vickers Hardness | 16 GPa |
| Lapoa i fafo (maualuga) | 600mm |
| Mafiafia (maualuga) | 100mm |
| Umi (maualuga) | 1500mm |
| Mafolafola | 0.003mm |
| Fa'atusatusaga | 0.002mm |
| Fa'auma o le Laupapa | Ra0.1 |
| Vevela Fa'agaoioiga Maualuga | 800°C |
Talosaga:
- · Tipiina ma fa'asolo le uamea (200mm/300mm ma le tele)
- · O le oloina o apa manifinifi i tua
- · Su'esu'ega ma le su'esu'eina o mata
- · Taulimaina o le tele o mea e fai i luga o le substrate
Sa'o lelei o le gaosiga:
- · Sa'o: 0.005mm
- · Tulaga fa'alava: 0.005mm
- · Lapotopoto: 0.002mm
- · Fa'aputuga: 0.01mm
