O le Alumina-Based Standard Vacuum Chuck – Maualuga le Ma'a'a mo le Masini Sa'o
O lenei masini e fa'aaoga ai le alumina e gaosia mai le 99.8% Al₂O₃, e ofoina atu ai se foliga lamolemole e le pu'upu'u ma ni mamanu fa'apitoa o le vacuum groove. E maua ai le ma'a'a tulaga ese (Young's modulus 380 GPa) ma le lamolemole (≤3 μm), ma avea ai ma mea lelei mo le oloina sa'o, lapping, ma le tipiina o semiconductor wafers ma vaega opitika. O le maualuga o le thermal conductivity o le meafaitino (32 W/m·k) e fa'amautinoa ai le tutusa o le vevela i le taimi o le fa'agasologa.
Fa'amatalaga auiliili(e fa'avae i le 99.8% Al₂O₃):
| Meatotino | Taua |
| Meafaitino | 99.8% Alumina (Aivi) |
| Mafiafia | 3.93 kalama/cm³ |
| Malosiaga Fa'alava | 361 MPa |
| Vickers Hardness | 16 GPa |
| Modulus a Talavou | 380 GPa |
| Fa'avevela o le Tafega | 32 W/m·k |
| Mafolafola | ≤3 μm (sili atu i le 200mm) |
| Ma'a'a o le fogā'ele'ele (itu o le 'olo) | Ra ≤0.4 μm |
| Vevela Fa'agaoioiga Maualuga | 800°C |
Talosaga:
- · O le oloina o le pito i tua o le uamea (ma'a'a ma manifinifi)
- · Tipiina sa'o o mea maaleale
- · Fa'a'ofuina o mea fa'apipi'i seramika
- · Fa'apulusaina o tioata opitika
Gaosiga:
Fa'amama sa'o o itu uma e lua → fa'a'au'au taimane (filifiliga) → fa'ata'amilomilo pito → fa'amamāina ultrasonic → siakiina o le lamolemole 100% ma le laser interferometer.
Aaogā:
- · O le lagolago malosi e faʻaitiitia ai le feliuliuaʻi i lalo o le avega
- · Leai se fa'atupuina o ni vaega mai le fausaga porous
- · Faigofie ona fa'amamā (e fetaui ma le vaila'au fa'amamā)
- · Alavai e mafai ona fetu'una'i (fa'aputuga, fa'alava, mamanu fa'apitoa)
Tele o lo'o avanoa:
Lapotopoto: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; faatafafā/faatafafā pe a talosagaina.
Matou te ofoina atu fo'i fa'ata'ita'iga e fa'avae i u'amea mo le malosi sili atu.
