O le Alumina-Based Porous Ceramic Vacuum Chuck mo le taulimaina o le Manifi Wafer
O le porous chuck a St.Cera e fa'avae i le alumina e gaosia mai le 99.6% Al₂O₃ mama maualuga ma le porosity tatala fa'atonutonuina o le 30–45% ma le lapo'a tutusa o pu e amata mai le 10 i le 50 μm. E le pei o grooved chucks, o le pito porous e maua ai le vacuum tufatufaina i luga o le wafer atoa i tua, e aveese ai le fa'ailoga o pito ma mafai ai ona uu malu ia wafer manifinifi (≤100 μm) po'o wafers ua pi'o. O le mea e ofoina atu le malosi o le flexural ≥250 MPa ma le mautu o le vevela e o'o atu i le 400°C i le ea.
Fa'amatalaga auiliili(e fa'avae i le 99.6% Al₂O₃):
| Meatotino | Taua |
| Meafaitino | 99.6% Alumina (Paʻepaʻe) |
| Porosity | 30–45% (e mafai ona fetu'una'i) |
| Tele o Pua e masani ai | 10–50 μm |
| Malosiaga Fa'alava | ≥250 MPa |
| Mafiafia | 3.88 kalama/cm³ |
| Mafolafola (e silia ma le 200mm) | ≤5 μm |
| Vevela Fa'agaoioiga Maualuga | 400°C (ea) |
| Fa'auma o le Laupapa | Fa'a'ofuofu (Ra ≤0.8 μm) |
Talosaga:
- · O le oloina o le pito i tua o le apa manifinifi (≤50 μm)
- · Fa'apipi'i uamea pi'o mo le tipiina
- · Pikiina o le oti fa'atasi
- · Taulimaina o le tioata
Gaosiga:
Pauta ua palu faatasi ma mea e fa'atupu ai pu → oomi fa'aisostatic → fa'asinuina i le 1600°C → fa'asolo i le mafiafia mulimuli. O pu ta'itasi e fa'ata'ita'iina le tafe mo le tutusa o le vacuum (fa'aletonu o le mamafa <5%) ma siakiina mo le tufatufaina o le tele o pu (SEM).
Tulaga lelei i luga o chucks masani:
- · Leai se fa'ailoga o le pito i tua o le wafer po'o le suiga o le die
- · E uuina ai apameme e oo atu i le 500 μm le mafiafia
- · E fa'amamāina lava le fogā'ele'ele (e tete'e atu pu i le poloka)
- · O le lagolago tutusa e aveese ai le atuatuvale i le lotoifale
Cfa'aaogāina
O foliga lapotopoto pe faatafafā, lautele 100–450 mm. O lo'o maua le mama fa'amaufa'ailoga pito mo le puleaina o le masini efuefu ua vaevaeina.
Talosaga mo se faʻataʻitaʻiga mo le tele o lau falaoa (wafer).
