12-Inisi Alumina Vacuum Chuck mo le 300mm Wafer Processing
O le masini e 12-inisi le umi o le masini e mūmū ai le ea a St.Cera ua faia ma le sa'o mai le 99.8% alumina mama maualuga (Al₂O₃) mo le taulimaina o le masini e 300mm le mamafa. O le masini e mūmū ai le ea e iai ni auvai lelei (lautele o auvai 0.5–1.0 mm, pitch 2–3 mm) e fa'amautinoa ai le tufatufaina tutusa o le masini e mūmū ai le ea i le lautele atoa e 300mm. E tausia le lamolemole i totonu ole 5 μm, e mafai ai ona fa'amautu le masini e aunoa ma ni fa'alavelave i le taimi e tipi ai, oloina i tua, ma le siakiina. O le malosi maualuga o le flexural o le meafaitino (361 MPa) ma le ma'a'a (16 GPa) e fa'amautinoa ai le mautu o le tele i se taimi umi e tusa lava pe i lalo o taamilosaga e mūmū ai le ea.
Fa'amatalaga auiliili (e faʻavae i le 99.8% Al₂O₃):
| Meatotino | Taua |
| Lapoa | 300 mm (12 inisi) |
| Meafaitino | 99.8% Alumina (Aivi) |
| Mafiafia | 3.93 kalama/cm³ |
| Malosiaga Fa'alava | 361 MPa |
| Vickers Hardness | 16 GPa |
| Mafolafola (e silia ma le 300mm) | ≤5 μm |
| Lapopo'a o le alavai | 0.5–1.0 mm |
| Vevela Fa'agaoioiga Maualuga | 800°C |
| Malosiaga Dielectric | 15×10⁶ V/m |
Talosaga:
300mm le tipiina ma le vaneina o le uamea
O le oloina o le pito i tua o le uamea (lagolago o le uamea manifinifi)
Su'esu'ega ma le fa'ata'ita'iga o mata
Chucks fa'apipi'i/ave'ese fa'apipi'i le tumau
Gaosiga:
Ua oloina le CNC ma fa'apipi'i se'ia o'o ina mafolafola lelei, ua fa'apipi'iina i uili taimane, ua fa'amamāina i le ultrasonic, ma ua afifiina i totonu o le potu mama o le Vasega 100. O chuck ta'itasi e 100% siakiina mo le mafolafola (laser interferometer) ma le loloto o le groove (profilometer).
Fa'amanuiaga:
Fa'atupuina o ni vaega laiti (≤0.05 vaega/cm²)
E le gaoioi fa'akemikolo i vaila'au fa'a'ese'ese ma 'asi
Lugā saogalemu mo le ESD (tete'e >10¹³ Ω·cm)
E maua mamanu fa'apitoa o pu e fa'amama ai le masini mitiia ma pu i tua.
