O le Silicon Carbide (SiC) Ceramic End Effector – Malosi Maualuga mo le Taulimaina o le Wafer i le Vevela Maualuga
O le masini fa'ai'u seramika SiC a St.Cera e gaosia mai le silicon carbide mama maualuga (SiC content 99.72%, free Si 0.05%) e fa'aaoga ai le mea S1111 batch. E ofoina atu ni meatotino fa'ainisinia tulaga ese: malosi fa'apipi'i 449 MPa (fuaina), modulus fa'apipi'i 457 GPa (fuaina), ma le malosi o Vickers 25–28 GPa (masani). O le maualalo o le mafiafia (3.10–3.15 g/cm³, masani) e maua ai se malosi fa'apitoa maualuga, e fetaui lelei mo robots fa'aliliuina wafer saoasaoa maualuga. Fa'atasi ai ma le thermal conductivity o le 120–150 W/m·K (masani) ma le thermal expansion coefficient o le 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (masani), o lenei masini fa'ai'u e fa'asa'oloto lelei le vevela ma fa'atumauina le mautu o le fua i le taimi o le taulimaina o le vevela maualuga (e o'o atu i le 1600–1700°C, e leai se avega). O le lanu uliuli/efuefu ma le leai o se mitiia o le vai e fa'amautinoa ai le fetaui lelei o potu mama.
Fa'amatalaga auiliili(e faʻavae i luga o le lipoti o suʻega SiC S1111 ua tuʻuina atu ma tau masani):
| Meatotino | Taua |
| Meafaitino | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si Sa'oloto) |
| Lanu | Uliuli/Efuefu |
| Mafiafia | 3.10–3.15 kalama/cm³ |
| Fa'asusuina o le Vai | 0% |
| Malosiaga Fa'alava | 449 MPa (averesi) |
| Malosi o le Malepe | 3.12 MPa·m¹/² (averesi) |
| Modulus Fa'alelei | 457 GPa |
| Vickers Hardness | 25–28 GPa |
| Fa'avevela (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Fa'aaogaina Maualuga o le Vevela (leai se avega) | 1600–1700°C |
Talosaga:
● Taulimaina o le vevela maualuga (pe a uma ona fa'ama'i, RTP, epitaxy)
● Potu eli plasma e manaʻomia ai le teteʻe maualuga i le eliina
● Robot fesiita'i saoasaoa maualuga (mama, malosi tele)
Gaosiga:
SiC powder sintering → oloina sa'o CNC o le fa'asologa o le lima ma foliga fa'apipi'i → fa'apipi'iina o luga → fa'amamāina ultrasonic. Siakiina 100% o le fua ma le su'ega o le helium leak mo fa'aoga vacuum.
Puleaina o le Tulaga Lelei:
● Su'esu'ega CMM o le umi, lautele, ma le lamolemole
● Su'ega malosi o le fetu'una'i i vaega ta'itasi (e tusa ai ma le tulaga fa'atonuina o le lipoti o su'ega)
● Su'esu'ega vaaia i lalo o le microscope mo ni fa'aletonu o luga
Tulaga lelei nai lo Alumina poʻo Uʻamea:
● 2× maualuga atu le modulus elastic (457 vs ~380 GPa mo alumina) – itiiti ifo le deflection
● 3× maualuga atu le fa'avevela - vave tele ona fa'asa'olotoina le vevela
● E tete'e atu i le >1600°C pe a fa'atusatusa i le alumina e 800°C i le ea
● E maualalo le mafiafia nai lo le u'amea – 40% le fa'aitiitia o le mamafa
Fa'apitoa:
Umi 150–450 mm, foliga o le pito (u'u o le pito, Bernoulli, mafolafola), mamanu o le fa'apipi'iina o le flange e tusa ai ma le ata o le OEM.
*O faʻamatalaga uma faʻainisinia o loʻo i luga e sau mai le lipoti o suʻega na tuʻuina atu (vaega S1111). O tau o le vevela ma le maʻaʻa e masani ona iai mo lenei vasega SiC; faʻamolemole faʻafesoʻotaʻi matou mo se faʻamaoniga faʻapitoa mo le vaega.*
