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Paipa Ta'ita'i Keramika Sa'o mo le Fa'apipi'iina o Uaea ma le Fa'apipi'i o le Mate
O le paipa ta'ita'i seramika a St.Cera e gaosia mai le 99.5% alumina po'o le yttria-stabilized zirconia, e ofoina atu le tete'e maualuga i le ofuina ma se pu lamolemole i totonu (Ra ≤0.2 μm). O nei paipa o ni vaega taua i mea e fa'apipi'i ai uaea, masini fa'apipi'i ai, ma masini e piki ma tu'u ai, uaea fa'apipi'i ta'iala, capillaries, po'o nozzles vacuum ma sina fe'ese'esea'iga ma leai se fa'aleagaina o vaega laiti.
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Ogaumu Seramika Alumina Mama Maualuga mo Mea Fa'apipi'i Semiconductor
O le ogatotonu o le seramika alumina a St.Cera ua fausia ma le sa'o mai le 99.8% Al₂O₃ mama maualuga, e ofoina atu ai le malosi dielectric tulaga ese (15 × 10⁶ V/m), mautu i le vevela e oo atu i le 1600°C, ma le tete'e atu i le sosolo i lalo o le avega. O nei ogatotonu e fa'aaogaina o ni vaega fa'atulagaina i mea fa'agasolo vevela maualuga, fa'avae o le vevela, laina o potu plasma, ma insulators eletise. O le malosi maualuga o le meafaitino (16 GPa) ma le maualalo o le mitiia o le vai (0%) e fa'amautinoa ai le fa'atuatuaina mo se taimi umi i siosiomaga faigata.
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O le Alumina-Based Standard Vacuum Chuck – Maualuga le Ma'a'a mo le Masini Sa'o
O lenei masini e fa'aaoga ai le alumina e gaosia mai le 99.8% Al₂O₃, e ofoina atu ai se foliga lamolemole e le pu'upu'u ma ni mamanu fa'apitoa o le vacuum groove. E maua ai le ma'a'a tulaga ese (Young's modulus 380 GPa) ma le lamolemole (≤3 μm), ma avea ai ma mea lelei mo le oloina sa'o, lapping, ma le tipiina o semiconductor wafers ma vaega opitika. O le maualuga o le thermal conductivity o le meafaitino (32 W/m·k) e fa'amautinoa ai le tutusa o le vevela i le taimi o le fa'agasologa.
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ST.CERA Fa'apitoa mo le Mama Seramika Alumina ma le Tisiketi Seramika
O vaega fa'asao o le seramika, lea na faia i le oomiina malulu ma fa'amamago i le vevela maualuga, ona fa'amamago lea ma fa'apupula sa'o, e mafai e vaega fa'asao o le seramika ona ausia so'o se mana'oga fa'apitoa o masini semiconductor fa'atasi ai ma ona foliga o le tete'e atu i le ofuina, tete'e atu i le 'ele, fa'alauteleina maualalo o le vevela, ma le fa'amafanafana. E mafai e seramika ona galue i le tele o ituaiga masini gaosi semiconductor i tulaga o le vevela maualuga, le gaogao po'o le kesi 'ele mo se taimi umi.
E faia mai le pauta alumina mama maualuga, fa'agasoloina e ala i le oomiina malulu isostatic, sintering i le vevela maualuga ma le fa'auma sa'o, e mafai ona o'o atu i le fa'apalepale o le fua i le ±0.001 mm, fa'auma o le luga Ra 0.1, tete'e i le vevela 1600 ℃.
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Meafaigaluega Semiconductor Chuck Seramika Sa'o
O vaega fa'asao o le seramika, lea na faia i le oomiina malulu ma fa'amamago i le vevela maualuga, ona fa'amamago lea ma fa'apupula sa'o, e mafai e vaega fa'asao o le seramika ona ausia so'o se mana'oga fa'apitoa o masini semiconductor fa'atasi ai ma ona foliga o le tete'e atu i le ofuina, tete'e atu i le 'ele, fa'alauteleina maualalo o le vevela, ma le fa'amafanafana. E mafai e seramika ona galue i le tele o ituaiga masini gaosi semiconductor i tulaga o le vevela maualuga, le gaogao po'o le kesi 'ele mo se taimi umi.
E faia mai le pauta alumina mama maualuga, fa'agasoloina e ala i le oomiina malulu isostatic, sintering i le vevela maualuga ma le fa'auma sa'o, e mafai ona o'o atu i le fa'apalepale o le fua i le ±0.001 mm, fa'auma o le luga Ra 0.1, tete'e i le vevela 1600 ℃.
