Porous Ceramic Vacuum Chuck mo le taulimaina o le Warped Wafer

O le porous ceramic chuck a St.Cera ua faia mai le alumina mama maualuga ma le tutusa o le open porosity e 30–45% ma le tele o pu e amata mai le 10 i le 100 μm. E le pei o grooved chucks masani, o le porous surface e maua ai le vacuum tufatufaina i le pito i tua o le wafer, e taofia lelei ai wafers ua pi'o, manifinifi, po'o le singulated e aunoa ma le si'itia o le pito pe gau. O le vacuum malu (e mafai ona fetu'una'i e ala i le restrictor) e puipuia ai fo'i le fa'ailogaina o le pito i tua.

Fa'amatalaga auiliili(e fa'avae i le 99.6% Al₂O₃):

Talosaga:

O le oloina o le pito i tua o le apa manifinifi (≤50 μm)

Fa'apipi'i wafer pi'o mo le tipiina

Pikiina o le oti fa'apitoa mai le lipine

Taulimaina o le laupapa tioata

Gaosiga ma le Tulaga Lelei:

Pa'u seramika ua palu fa'atasi ma mea e fa'atupu ai pu fa'alenatura → oomi → fa'amamago → fa'apipi'i se'ia o'o i le mafiafia mulimuli. O chuck ta'itasi e fa'ata'ita'iina le tafe mo le tutusa o le vacuum (≤5% deviation) ma siaki mo le tufatufaina o le tele o pu (SEM). Fuafuaina le lamolemole i le laser interferometer.

Tulaga lelei pe a fa'atusatusa i Grooved Chucks:

Leai se fa'ailoga o le pito o le wafer po'o le suiga o le die

E uuina ai apa ua pi'o (e o'o atu i le 500 μm le lautele)

Aveese le poloka o pu o le masini mitiia

Lagolago fa'alelei e oe lava mo mea manifinifi

Fa'apitoa:

O foliga lapotopoto pe faatafafā, e oo atu i le 600 mm le lapo'a. E mafai ona matou fa'aogaina mama fa'amaufa'ailoga pito po'o ni vaega e fa'amama ai sone. O lo'o maua fa'ata'ita'iga u'amea mo mana'oga maualuluga.

Talosaga mo se faʻataʻitaʻiga mo lau lapoʻa o le wafer ma le suʻega o le warpage.