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Vaega Seramika Mama Seramika Maualuga-Sa'o Alumina
O vaega fa'asao o le seramika, lea na faia i le oomiina malulu ma fa'amamago i le vevela maualuga, ona fa'amamago lea ma fa'apupula sa'o, e mafai e vaega fa'asao o le seramika ona ausia so'o se mana'oga fa'apitoa o masini semiconductor fa'atasi ai ma ona foliga o le tete'e atu i le ofuina, tete'e atu i le 'ele, fa'alauteleina maualalo o le vevela, ma le fa'amafanafana. E mafai e seramika ona galue i le tele o ituaiga masini gaosi semiconductor i tulaga o le vevela maualuga, le gaogao po'o le kesi 'ele mo se taimi umi.
E faia mai le pauta alumina mama maualuga, fa'agasoloina e ala i le oomiina malulu isostatic, sintering i le vevela maualuga ma le fa'auma sa'o, e mafai ona o'o atu i le fa'apalepale o le fua i le ±0.001 mm, fa'auma o le luga Ra 0.1, tete'e i le vevela 1600 ℃.
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Meafaigaluega Semiconductor Fa'apitoa a ST.CERA mo Chucks Seramika
O vaega fa'asao o le seramika, lea na faia i le oomiina malulu ma fa'amamago i le vevela maualuga, ona fa'amamago lea ma fa'apupula sa'o, e mafai e vaega fa'asao o le seramika ona ausia so'o se mana'oga fa'apitoa o masini semiconductor fa'atasi ai ma ona foliga o le tete'e atu i le ofuina, tete'e atu i le 'ele, fa'alauteleina maualalo o le vevela, ma le fa'amafanafana. E mafai e seramika ona galue i le tele o ituaiga masini gaosi semiconductor i tulaga o le vevela maualuga, le gaogao po'o le kesi 'ele mo se taimi umi.
E faia mai le pauta alumina mama maualuga, fa'agasoloina e ala i le oomiina malulu isostatic, sintering i le vevela maualuga ma le fa'auma sa'o, e mafai ona o'o atu i le fa'apalepale o le fua i le ±0.001 mm, fa'auma o le luga Ra 0.1, tete'e i le vevela 1600 ℃.
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O le Silicon Carbide (SiC) Ceramic End Effector – Maualuga le Malō mo le Taulimaina o le Wafer i le Vevela Maualuga
O le masini fa'ai'u seramika SiC a St.Cera e gaosia mai le silicon carbide mama maualuga (SiC content 99.72%, free Si 0.05%) e fa'aaoga ai le mea S1111. E ofoina atu ni meatotino fa'ainisinia tulaga ese: malosi fa'apipi'i 449 MPa (fuaina), modulus fa'apipi'i 457 GPa (fuaina), ma le malosi o Vickers 25–28 GPa (masani). O le maualalo o le mafiafia (3.10–3.15 g/cm³, masani) e maua ai se malosi fa'apitoa maualuga, e fetaui lelei mo roboti fa'aliliuina wafer saoasaoa maualuga. Fa'atasi ai ma le thermal conductivity o le 120–150 W/m·K (masani) ma le thermal expansion coefficient o le 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (masani), o lenei masini fa'ai'u e fa'asa'oloto lelei le vevela ma fa'atumauina le mautu o le fua i le taimi o le taulimaina o le vevela maualuga (e o'o atu i le 1600–1700°C, e leai se avega). O le lanu uliuli/efuefu ma le leai o se mitiia o le vai e fa'amautinoa ai le fetaui lelei o potu mama.
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O le Vacuum Chuck e fa'avae i luga o le Silicon Carbide (SiC) mo Siosiomaga e Maualuga le Vevela ma le Plasma
O le chuck seramika a St.Cera e fa'avae i le SiC e gaosia mai le silicon carbide mama maualuga (batch S1111, SiC 99.72%, free Si 0.05%). E maua ai le malosi o le flexural e fuaina e 449 MPa, fracture toughness e 3.12 MPa·m¹/², ma le elastic modulus e 457 GPa. O le thermal conductivity masani o le meafaitino (120–150 W/m·K) ma le fa'alauteleina maualalo o le vevela (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) e mafai ai ona vave fa'ateleina le vevela ma fa'aitiitia ai le wafer warpage i le taimi o le thermal cycle. E mafai ona fa'atulagaina le chuck o se porous vacuum chuck (tafe tutusa o le kesi) po'o se grooved standard chuck. Faatasi ai ma le maualuga o le vevela o le fa'aaogaina o le 1600–1700°C (leai se avega) ma le tete'e atu i le erosion plasma, o lenei chuck e fetaui lelei mo le fa'agasologa o le wafer i le vevela maualuga (annealing, RTP) ma potu etch malolosi lea e fa'aleagaina ai alumina chucks.
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Meafaigaluega Semiconductor Vaega Fa'asao Seramika Aveta'avale Seramika
O vaega fa'asao o le seramika, lea na faia i le oomiina malulu ma fa'amamago i le vevela maualuga, ona fa'amamago lea ma fa'apupula sa'o, e mafai e vaega fa'asao o le seramika ona ausia so'o se mana'oga fa'apitoa o masini semiconductor fa'atasi ai ma ona foliga o le tete'e atu i le ofuina, tete'e atu i le 'ele, fa'alauteleina maualalo o le vevela, ma le fa'amafanafana. E mafai e seramika ona galue i le tele o ituaiga masini gaosi semiconductor i tulaga o le vevela maualuga, le gaogao po'o le kesi 'ele mo se taimi umi.
E faia mai le pauta alumina mama maualuga, fa'agasoloina e ala i le oomiina malulu isostatic, sintering i le vevela maualuga ma le fa'auma sa'o, e mafai ona o'o atu i le fa'apalepale o le fua i le ±0.001 mm, fa'auma o le luga Ra 0.1, tete'e i le vevela 1600 ℃.
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Mama Fa'amama Alumina Seramika ua Fa'apipi'iina i U'amea mo Fa'aoga Fa'apipi'i Maualuga
O le mama olo u'amea a St.Cera e fa'avae i luga o le alumina e tu'ufa'atasia ai se vaega o le seramika e maualuga le mama (99.8% Al₂O₃) ma se lagolago u'amea ua mae'a ona fa'amasiniina (e masani lava o le alumini po'o le u'amea e le gaoia). O lenei mamanu fa'afefiloi e maua ai le tete'e atu i le ofuina ma le le gaoioi o vaila'au o le seramika i luga o le mea olo, a'o fa'aopoopoina e le fa'avae u'amea le malosi fa'amekanika, faigofie ona fa'apipi'i, ma le tete'e atu i le gau o le gau. O le vaega alumina e ofoina atu le malosi fa'apipi'i o le 361 MPa, le malosi o Vickers o le 16 GPa, ma le mautu o le vevela e o'o atu i le 800°C. O le fa'avae u'amea ua fa'apitoa i pu e fa'apipi'i ai, pine e su'e ai, po'o meatotino fa'amaneta mo le tu'ufa'atasia i masini lapping, planetary grinders, ma masini CMP.
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Vaega Fa'asao Seramika mo Meafaigaluega o le Nofoaga o Su'esu'ega Semiconductor
O vaega fa'asao o le seramika, lea na faia i le oomiina malulu ma fa'amamago i le vevela maualuga, ona fa'amamago lea ma fa'apupula sa'o, e mafai e vaega fa'asao o le seramika ona ausia so'o se mana'oga fa'apitoa o masini semiconductor fa'atasi ai ma ona foliga o le tete'e atu i le ofuina, tete'e atu i le 'ele, fa'alauteleina maualalo o le vevela, ma le fa'amafanafana. E mafai e seramika ona galue i le tele o ituaiga masini gaosi semiconductor i tulaga o le vevela maualuga, le gaogao po'o le kesi 'ele mo se taimi umi.
E faia mai le pauta alumina mama maualuga, fa'agasoloina e ala i le oomiina malulu isostatic, sintering i le vevela maualuga ma le fa'auma sa'o, e mafai ona o'o atu i le fa'apalepale o le fua i le ±0.001 mm, fa'auma o le luga Ra 0.1, tete'e i le vevela 1600 ℃.
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Fa'agasologa Fa'apitoa o le Al2O3 Ceramic Wafer Chuck
O vaega fa'asao o le seramika, lea na faia i le oomiina malulu ma fa'amamago i le vevela maualuga, ona fa'amamago lea ma fa'apupula sa'o, e mafai e vaega fa'asao o le seramika ona ausia so'o se mana'oga fa'apitoa o masini semiconductor fa'atasi ai ma ona foliga o le tete'e atu i le ofuina, tete'e atu i le 'ele, fa'alauteleina maualalo o le vevela, ma le fa'amafanafana. E mafai e seramika ona galue i le tele o ituaiga masini gaosi semiconductor i tulaga o le vevela maualuga, le gaogao po'o le kesi 'ele mo se taimi umi.
E faia mai le pauta alumina mama maualuga, fa'agasoloina e ala i le oomiina malulu isostatic, sintering i le vevela maualuga ma le fa'auma sa'o, e mafai ona o'o atu i le fa'apalepale o le fua i le ±0.001 mm, fa'auma o le luga Ra 0.1, tete'e i le vevela 1600 ℃.
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Ipu Seramika mo Meafaigaluega Semiconductor Fa'apitoa a ST.CERA
O vaega fa'asao o le seramika, lea na faia i le oomiina malulu ma fa'amamago i le vevela maualuga, ona fa'amamago lea ma fa'apupula sa'o, e mafai e vaega fa'asao o le seramika ona ausia so'o se mana'oga fa'apitoa o masini semiconductor fa'atasi ai ma ona foliga o le tete'e atu i le ofuina, tete'e atu i le 'ele, fa'alauteleina maualalo o le vevela, ma le fa'amafanafana. E mafai e seramika ona galue i le tele o ituaiga masini gaosi semiconductor i tulaga o le vevela maualuga, le gaogao po'o le kesi 'ele mo se taimi umi.
E faia mai le pauta alumina mama maualuga, fa'agasoloina e ala i le oomiina malulu isostatic, sintering i le vevela maualuga ma le fa'auma sa'o, e mafai ona o'o atu i le fa'apalepale o le fua i le ±0.001 mm, fa'auma o le luga Ra 0.1, tete'e i le vevela 1600 ℃.
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12-Inisi Alumina Vacuum Chuck mo le 300mm Wafer Processing
O le masini e 12-inisi le umi o le masini e mūmū ai le ea a St.Cera ua faia ma le sa'o mai le 99.8% alumina mama maualuga (Al₂O₃) mo le taulimaina o le masini e 300mm le mamafa. O le masini e mūmū ai le ea e iai ni auvai lelei (lautele o auvai 0.5–1.0 mm, pitch 2–3 mm) e fa'amautinoa ai le tufatufaina tutusa o le masini e mūmū ai le ea i le lautele atoa e 300mm. E tausia le lamolemole i totonu ole 5 μm, e mafai ai ona fa'amautu le masini e aunoa ma ni fa'alavelave i le taimi e tipi ai, oloina i tua, ma le siakiina. O le malosi maualuga o le flexural o le meafaitino (361 MPa) ma le ma'a'a (16 GPa) e fa'amautinoa ai le mautu o le tele i se taimi umi e tusa lava pe i lalo o taamilosaga e mūmū ai le ea.
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Fa'ai'uga o le Alumina Ceramic ma Alavai Vacuum ua Tu'ufa'atasia
O le masini fa'amama alumina a St.Cera e fa'apipi'i sa'o auala fa'amama ma pu fa'asusu i totonu o le tino alumina mama e 99.8%. O lenei mamanu e aveese ai pads fa'amama i fafo, e mafai ai ona piki sa'o le wafer ma le malosi tutusa e uu ai. O le malosi maualuga o le flexural (361 MPa) ma le ma'a'a (16 GPa) e fa'amautinoa ai le mautu o le dimensional i lalo o ta'amilosaga fa'amama faifai pea. O le lamolemole i luga o le vaega o le pad e tausia i totonu ole 10 μm, e puipuia ai le mamafa o le wafer ma le gau. O lo'o i ai pu fa'amama i le flange fa'apipi'i i tua mo le faigofie ona fa'apipi'i ma lima robot OEM.
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Vaega Seramika Alumina Saogalemu ESD mo le Taulimaina o le Wafer e Ma'ale'ale i le Static
O vaega o le seramika alumina saogalemu ESD (electrostatic discharge) a St.Cera e gaosia mai le 99.8% Al₂O₃ mama maualuga ma le tete'e fa'apitoa o le 10⁶–10⁹ Ω/sq, e ausia e ala i se faiga fa'apitoa o le doping po'o le ufiufi. O nei vaega e fa'aitiitia lelei le mamafa tumau, e puipuia ai le fa'aleagaina o le eletise i wafers ma masini semiconductor maaleale. O le mea autu e taofia lona malosi maualuga o le flexural (361 MPa), le ma'a'a (16 GPa), ma le malosi dielectric (15×10⁶ V/m). O vaega seramika saogalemu ESD e aofia ai e aofia ai end effectors, lift pins, guide rails, ma mea fa'apipi'i fa'apitoa mo le FAB automation.
